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经过无数次千锤百炼、最终稳定激射出纯粹13.5nm极紫外光的光源核心,则散发著微微的幽蓝光芒。
两台工作台在磁悬浮轨道上待命微颤,等待著注入生命的指令。
空气中弥漫著一种无形的、令人心悸的静电场。没有欢呼,没有喧哗,所有穿著最高等级防尘服的研究员、工程师、军工厂的八级老师傅,全都屏息凝神,如同环绕著圣物的信徒。
苏定平站在主控台前,手指最终按下了启动键。
无声的洪流开始奔腾。
矽晶圆载入、真空舱闭合、雷射预热、掩膜版精准对位……
极紫外光源骤然点亮!
那束无形的、足以刻画出星球文明新地图的光束,经过数十片自主生产、精度逆天的反射镜折射、聚焦,精准地投射在涂满光刻胶的矽片上!
刻蚀!显影!……
时间一分一秒在巨大的期待与死寂中流过。
当第一块完成光刻步骤的矽晶圆最终被机械臂取出发送到扫描式电子显微镜进行晶片在线图像检测时,所有人围拢到检测室的防尘门外,紧张地看著里面的操作员。
操作员的手指在精密控制台上移动著。扫描光束开始在矽片上纵横。
巨大的屏幕上,开始逐行显示出高精度的线条图像。
第一条……第三条……第十条……整个区域!
放大!再放大!
屏幕上最终定格在那令人目眩神迷的精密电路图案!
7nm FinFET电晶体!立体三维结构清晰!栅极清晰!沟道清晰!线条边缘锐利度超过预期!没有短路断路!完美!
自动分析软体飞速处理数据,最终在屏幕下方弹出一个刺眼夺目的绿色框体。
【综合良品率。92。1%!】
「成功了!!!」
「我们自己的EUV!自己造的7nm晶片!」
「92%!92%!!!」
整个车间!不!整个军工厂!在这一刻彻底沸腾!失去了所有矜持!
掌声!撕心裂肺的哭喊声!疯狂的击打金属壁的撞击声!如同火山爆发般冲击著每个人的耳膜!
袁涛死死抓著旁边一个年轻研究员的手臂,因为用力过猛掐出了红印子还不自知,他老泪纵横,像个孩子一样嚎啕大哭!
他猛地转身,一把抓住旁边同样激动得浑身发抖、眼中含泪的郭雪云,指著站在人群中央、似乎被这巨大的喜悦冲击得有些茫然的苏定平,用尽此生最大的力气嘶吼。
「光刻机……光刻机之父!当之无愧!」
这称号如同电流般瞬间传遍!
「光刻机之父!」
「光刻机之父!!」
无数声音汇聚起来,充满了无限的敬仰和狂热!
欢呼持续了很久。
苏定平的心终于落回实处,疲惫如同潮水般再次涌上,但他嘴角的笑意却无法控制地扬起
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